반도체 생산장비를 위한 GORE® 안티-스태틱 하이플렉스 케이블
Gore(고어)의 차세대 케이블 기술은 정전기를 방지하여 입자의 흡착을 줄임으로써 반도체 및 FPD 장비의 신뢰성을 높이고 처리량을 향상시킨다는 점이 입증되었습니다. 업계 최초로 출시된, GORE® 안티-스태틱 하이플렉스 케이블은 별도의 장비나 복잡한 접지 시스템 없이도 ESD에 민감한 환경에서 사용 가능합니다.
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데이터시트: 반도체 생산 장비를 위한 GORE® 안티-스태틱 하이 플렉스 케이블
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반도체 생산 장비를 위해 W. L. Gore & Associates에서 제공하는 트랙리스 및 플랫 안티-스태틱 케이블은 정전기를 방지하는 차세대 신기술이 적용되어 한층 향상된 신뢰성과 처리량을 제공합니다.
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제품 개요
ESD 관련 고장 및 제품 손상 감소
반도체 및 평판 디스플레이(FPD) 장비의 설계 및 생산 기술이 발전함에 따라 업계는 고밀도 설계를 구현할 수 있게 되었지만, FPD와 집적 회로(IC)는 정전기에 의해 손상될 위험이 더욱 커졌습니다. 시간이 지남에 따라 정전압이 상승하면서 무빙 클린룸 케이블 시스템의 외부 표면에 입자가 흡착되어 분진 발생과 수율 저하를 유발합니다.
GORE® 안티-스태틱 하이플렉스 케이블의 경우 정전기 방전(Electrostatic Discharge, ESD) 환경에 최적화된 정밀 설계를 기반으로 하며, Non-carbon ePTFE 합성 소재가 재킷에 사용되었습니다.
고어는 마찰 전기와 전압의 증가를 방지하여 ESD에 대한 보호 성능을 향상시킬 수 있도록 두 가지 버전의 제품을 제공함으로써, 표면 전하 증대와 분진, 방전 문제를 방지합니다.
고어의 트랙리스 케이블은 플랫 재킷으로 구성된 개별 코어(도체)와 자체 지지형 롤링 플렉스 모션(rolling flex motion)을 제공하는 보강재로 구성되어 있습니다. 플랫 케이블은 개별 라미네이트 코어로 이루어져 보다 가볍고 유연합니다.
업계 최초로 선보이는 고어의 독보적인 케이블 기술은 추가 시공 없이도 ESD에 민감한 환경에서 사용할 수 있습니다. 복잡한 접지 시스템이나 별도의 장비 없이도 우수한 성능을 유지하며, 보정 및 유지에 많은 비용이 소요되는 이온화 장치 또한 필요하지 않습니다.
GORE® 안티-스태틱 하이플렉스 케이블은 ESD 관련 고장 및 제품 손상을 크게 줄여 하이플렉스 장비의 신뢰성 및 처리량을 높입니다. 또한 기존의 트랙리스 및 플랫 케이블과 100% 호환되어, 손쉽게 레트로핏(retrofit)할 수 있습니다.
애플리케이션
ESD 관련 문제를 완화해주는 것으로 입증된 GORE® 안티-스태틱 하이플렉스 케이블은 다음이 포함된 다양한 반도체 생산 장비에 사용됩니다:
- 전자부품 패키징 장비
- 첨단 본딩 장비
- 픽-앤-플레이스 (pick and place) 장착 장비
- 백엔드(back-end) 제조 및 검사 공정
- 렌즈 제조 장비
- ESD에 민감한 제조 장비, 등
ESD에 민감한 환경에서 사용할 하이 플렉스 장비에 적합한 케이블을 찾고 계신가요? 도움이 필요하시면 고어 담당자에게 문의해주세요.
특장점
GORE® 안티-스태틱 하이 플렉스 케이블은 고도의 청정도가 필요하고, ESD에 민감한 환경에서 보다 강력한 내구성을 제공합니다.
- 정전기를 방지해주는 non-carbon 재킷 소재
- 저마찰, 무분진 소재
- 내온도성 소재
- 화학적 불활성 소재
고어의 검증된, 안정적인 케이블은 제조기업에 반도체 및 FPD 장비 성능을 개선하는 다양한 이점을 제공합니다:
- 표면 전하 증대 방지 및 관리되지 않은 분진 제거
- ESD 관련 고장 및 제품 손상 대폭 감소
- 업계 최초로 ESD에 민감한 환경에서 독립형 시스템으로 사용 가능
- 복잡한 접지 시스템이나 추가 장비 불필요
- 보정 및 유지보수 비용이 높은 이오나이저 불필요
- 신뢰성 향상, 처리량 증가, 유지보수 주기 축소, 소유비용 절감
- ISO Class 1 클린룸 환경 인증 획득
- 규격화된 트랙리스 및 플랫 케이블로 레트로핏(retrofit)이 용이함
기술 사양
다음의 값은 ESD에 민감한 환경에서 반도체 생산 장비용 GORE® 안티-스태틱 하이플렉스 케이블의 전기적, 기계적 및 환경적 성능을 나타냅니다.
| 전기/ 기계/ 환경 특성 | 값 | |
|---|---|---|
트랙리스 케이블 | 플랫 케이블 | |
| 최대 가속도 g(m/sec2) | 4.0(40) | 4.0(40) |
| 속도 m/sec | 4.0 | 4.0 |
| 표면 저항 Ohms(ASTM-D257) 45% rH, 23°C | </= 2 x 109 | </= 2 x 109 |
| 일반 전하 감쇠a msec(DIN-EN 1149-5; 2008-04) 45 rH, 23°C | ≤ 4 | ≤ 4 |
| 전압 축적a V(PLFWI-2730 최대 1000 사이클) | << 100 | << 100 |
| 운전 상대습도 rH % | 45 + 15 | 45 + 15 |
| 재킷 소재b | 정전기 방지 처리된 non-carbon ePTFE 합성 소재 | 정전기 방지 처리된 non-carbon ePTFE 합성 소재 |
| 재킷 색상 | 흰색 | 흰색 |
| 코어 유형 | 신호, 전력, 광섬유, 공압 | 신호, 전력, 광섬유, 공압 |
| 최대 자체 지지 스트로크(stroke) 길이c mm(in) | 1500(60) | 500(20) |
| 총 폭d mm(in) | 최대 105(4.1) | 최대 300(12) |
| 최소 곡률 반경d mm(in) | 50(2) | 50(2) |
| 플렉스 수명(최대 4G 가속도에서 곡률 반경 50mm) | > 1천만 | > 2천만 |
| 온도 범위 °C | -40 ~ +80 | -40 ~ +80 |
| 청정도 등급e(ISO14664-1 최대 1백만 플렉스 사이클) | 1 | 1 |
| 분진f %(ISO14664-1 / VDI 가이드라인 2083) | < 0.1 | < 0.1 |
a. 결과는 조건에 따라 상이할 수 있으며, 요청 시 테스트 방법에 대한 세부정보를 제공함.
b. 고어 특허에 대한 자세한 내용은 patents.justia.com/patent/9534159 에서 확인 가능함.
c. 베이스 플레이트가 필요함.
d. 일반 구성에 해당하며, MBR은 특정 구성에 따라 달라질 수 있음.
e. ESD 방지 트랙리스 케이블(GKT-FTFH-01-A), 시리얼 넘버 14111802 기준으로 작성함. 요청 시 평가 보고서를 제공함.
f. 프라운호퍼 연구소(Fraunhofer Institute)의 연구에 대한 자세한 내용은gore.com/particulation에서 확인 가능함.
맞춤 제작 및 구매 방법
GORE® 안티-스태틱 하이플렉스 케이블은 청정도가 높아야 하는 환경에서 ESD 관련 고장 및 제품 손상을 줄이는 데 기여하며 반도체 및 FPD 장비를 위한 설치용 클램프를 포함한 표준형 또는 맞춤형 제품을 제공합니다.
고어의 설계 가이드를 참고하여 업계에서 일반적으로 사용하는 표준형 제품을 선택하시거나 귀사의 특수한 요구사항에 적합한 맞춤형 케이블을 제작해보세요. 고어 담당자에게 연락 주시면, 요구사항을 검토한 후 권장사항 및 도면을 제공해 드릴 수 있습니다.
특정 반도체 생산 장비의 요구사항에 적합한 안티-스태틱 하이플렉스 케이블 설계에 도움이 필요하시면 고어 담당자에게 문의 주세요.
자료
White Paper: Cable Particulation Study for Cleanroom Environments
White Papers, 144.55 KB
데이터시트: 반도체 생산 장비를 위한 GORE® 안티-스태틱 하이 플렉스 케이블
데이터시트, 192.02 KB
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