반도체용 GORE^® 써멀 인슐레이션​

^a 명시된 열전도율 값은 ASTM C518의 수정된 시험 방법을 기반으로 한 명목값입니다.
^b 명시된 비열 값은 75 °C 조건에서 ASTM E2716 Method B에 따라 측정되었습니다.
^c 아웃개싱(outgassing) 특성은 ASTM E595 기준에 따라 평가되었습니다.
^d 당사가 인지하고 있는 범위 내에서, 상기 제품에는 RoHS 지침 2011/65/EU에 명시된 최대 허용 농도를 초과하는 제한 물질이 포함되어 있지 않으며, 위임지침 2015/863을 포함한 RoHS 개정 지침(RoHS Recast) 제4조의 물질 제한 요건을 충족합니다. 

고어는 모든 고객에게 약속한 성능을 일관되게 제공하는 것을 기업의 핵심 가치로 두고 있습니다. 이 원칙은 글로벌 역량과 축적된 전문성, 그리고 엄격한 품질 관리 체계를 통해 실현됩니다. 

품질에 대한 고어의 약속 자세히 보기

고어는 자사 제품에 적용되는 모든 관련 규제 사항을 지속적으로 모니터링하고, 이를 준수하기 위해 노력하고 있습니다. 또한 공급업체와의 협력을 통해 공급망 전반에서 PFOA를 제거했으며, 
당사 제품은 **EU REACH 규정(EU 1907/2006 및 EU 2019/2021)**을 충족합니다. 

자세히 알아보기

최근 반도체 장비와 팹 전반에서 공정 온도가 점점 높아짐에 따라, 고온 공정에 적합하게 설계된 단열 솔루션의 중요성이 더욱 커지고 있습니다. GORE^® 써멀 인슐레이션은 연속 운전 온도 최대 280 °C까지 견딜 수 있도록 설계되어, 장시간 사용 시에도 취화(embrittlement)되거나 열 성능이 저하되지 않습니다. 또한 공정 전반에서 최대 35%의 에너지 절감 효과를 제공합니다.

가능합니다. 얇고 유연한 GORE^® 써멀 인슐레이션은 슬림한 히팅 재킷 설계를 현실적으로 구현할 수 있도록 합니다. 2.5 mm 두께의 단일 레이어만으로도 약 6 mm 유리섬유 단열재와 동일한 접촉 온도를 구현할 수 있어, 절반 이하의 두께로도 동일한 단열 성능을 제공합니다. 이는 ¼인치 포어라인과 같이 공간 제약이 큰 배관에 특히 적합합니다.

결로는 가열된 가스가 가스 라인 내부의 상대적으로 온도가 낮은 구간을 통과할 때 발생하는 온도 편차로 인해 형성됩니다. 따라서 결로 발생을 방지하기 위해서는 라인 전 구간에서 정밀하고 안정적인 온도 제어가 무엇보다 중요합니다. GORE^® 써멀 인슐레이션의 우수한 열 성능은 초저 열전도율과 매우 균일한 소재 구조에서 비롯됩니다. 이러한 특성은 가스 라인 전체는 물론, 기존 단열재에서 열 손실이 발생하기 쉬운 굴곡부 및 피팅 부위에서도 온도 안정성을 효과적으로 유지하도록 돕습니다.

한 가지 방법은 신규 설치 혹은 제거하는 히팅 재킷에 어떤 단열 소재가 사용되고 있는지를 확인하는 것입니다. 히팅 재킷에 에어로젤이 포함된 경우, 클린룸 오염 위험이 상대적으로 높아질 수 있습니다. 

이는 히팅 재킷을 배관에 설치하거나 제거하는 과정에서 재킷이 휘어지며, 봉제된 이음부의 미세한 바늘 구멍을 통해 에어로졸화된 분진이 외부로 방출될 가능성이 있기 때문입니다.

GORE^® 써멀 인슐레이션은 에어로젤이 복합 구조 내부에 완전히 함침화되어 있어, 이와 같은 클린룸 오염 위험을 효과적으로 최소화하는 데 도움을 줍니다. 

한 가지 방법은 모든 포어라인, 온툴(ontool) 가스 공급 및 배기 라인용 히팅 재킷에

GORE^® 써멀 인슐레이션의 우수한 열 성능을 적용하는 것입니다. 필드 테스트 결과, 고어의 단열 솔루션은 유리섬유 대비 최대 35%, 에어로젤 매트 대비 9% 이상의 추가적인 에너지 절감 효과를 입증했습니다. 불필요한 열 손실과 에너지 소비를 줄이는 것은 공정 에너지 효율 개선과 에너지 관리 목표 달성에 기여하며, 또한 보다 정밀한 온도 제어와 향상된 온도 안정성을 통해 수율 개선에도 기여할 수 있습니다.